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特气供气系统
是指SiH4 ,NF3 等一些具有高危险性,应确保安全性的特气。公司提供气瓶更换作业和从供气到废气处理的综合设计及统一管理。
Everything from the equipment sales of the special material gas to the supply control is safely done.
用 途 Usage
半导体工厂 for Semiconductor
液晶工厂 for Liquid Crystal
有机EL工厂 for Organic EL
化合物工厂 for Compound Devic
太阳电池工厂 for Solor Panel
基本构成 Basic Construction
特气 Special Material Gas
供气设备 Gas Supply Equipment
分配箱 Valve Manifold Box
纯化设备 Gas Purifier
废气处理设备 Scrubber
检测器 Gas Detectet
监视设备 Gas Monitoring System

地址:深圳市高新技术产业园北区朗山路16号华瀚创新园A座406室 电话:86-755-86019888 传真:86-755-86019111 P.C.518101
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